FOUP/FOSB 净化气体充填设备(Standalone N2 Station)用于制程后段以及封装，主要功能为延长Q- Time设计的氮气充气产品，它除了能配合半导体AMHS自动化设备使用，另外还能配置在离仓储系统较远的制程设备旁，缩短OHT运送的时间。

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